Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Mit Laser-Arc-Technik im industriellen Maßstab werden diamantartige Kohlenstoffschichten (ta-C) für verschiedenste Kunden-Anwendungen entwickelt. Wir sind Vorreiter für die ta-C-Abscheidung mit hoher Beschichtungsrate, homogener Schichtdickenverteilung und dauerhafter Prozessstabilität. Mittels einer speziellen modularen Plasmafiltertechnik werden glatte, nahezu defektfreie Schichten erzeugt. Spezielle Haftschichtdesigns ermöglichen die Abscheidung von bis zu 100 µm dicken ta-C-Schichten. Durch die Verdampfung von Komposit-Grafiten können verschiedenste Dotierungen eingestellt und damit ta-C:X-Schichten mit unterschiedlichsten funktionalen Eigenschaften versehen werden. Mit der Laser-Arc-Technik lassen sich auch dichte, robuste MoS2-Schichten herstellen, die konventionell gesputterten Schichten deutlich überlegen sind.
Unser Leistungsangebot umfasst:
- Extrem verschleißfeste ta-C-Schichten für Gleitkomponenten und Werkzeuge
- Funktionalisierte ta-C:X-Schichten für elektrische/elektrochemische Anwendungen, z. B. Bipolarplatten, Elektroden und Sensoren
- Robuste MoS2-Schichten für tribologische Vakuumanwendungen
- Anpassung der Laser-Arc-Technik an Industrie-Anforderungen (z. B. Inline-Beschichtung)