Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
In-situ mit FTIR-Spektroskopie gewonnene Konzentrationsverläufe prozeßbeteiligter Gasspezies
FTIR-Gasanalysesystem zur zeitaufgelösten Bestimmung der Zusammensetzung von Gasatmosphären und des Konzentrationsverlaufs der enthaltenen Gasspezies (Precursoren, Intermediate, Umsatzprodukte) auch in hoch partikelbelasteten Atmosphären. Das System wurde für den Einsatz im Bereich von CVD-Beschichtungs- und -Ätzprozessen in der Halbleiterindustrie entwickelt.