Produkt- und Systementwicklungen

Zahlreiche Produkte und Systemlösungen sind in den letzten Jahren auf dem Gebiet der Röntgen- und EUV-Optiken entwickelt und großteils in die Industrie überführt worden. Ausgewählte Anwendungsfelder sind:

  • Röntgendiffraktometrie und -reflektometrie
  • Spektroskopie
  • EUV-Lithographie
  • EUV-Messtechnik
  • Synchrotronanwendungen
  • Reaktivmultischichten zum Präzisionsfügen
  • Innenbeschichtungen für tribologische Anwendungen
  • Wärmedämmschichten für Raketenbrennkammern

Weitere Anwendungsbeispiele mit den erreichten Ergebnissen finden Sie durch Auswahl in der oberen Menüleiste.

EUV-Technologie#

 

Spiegelschichten für extrem ultraviolette (EUV) Strahlung

 

Schwarzschildobjektive für extrem ultraviolette (EUV) Strahlung

 

EUV-Reflexionsnormale

Labor-Röntgentechnik#

 

Parallelstrahloptiken für Röntgenstrahlung (Göbelspiegel)

 

Fokussierende Optiken

 

Side-by-side-Optiken

 

RFA-Monochromatoren

 

Schichtdickennormale

 

Vakuumgehäuse für Röntgenspiegel