PVD-Schichten

Verfahren der Physikalischen Dampfphasenabscheidung (PVD = Physical Vapor Deposition) erlauben die Abscheidung hochwertiger tribologischer und funktioneller Schichten im Dickenbereich von wenigen Nanometern bis zu einigen zehn Mikrometern. Dazu stehen im IWS Verfahren von der Hochrate-Bedampfung bis hin zu hochaktivierten Plasmaverfahren sowie deren Kombinationen zur Verfügung. Einen besonderen Schwerpunkt bildet die umfassende Nutzung von Bogenentladungen als der effektivsten Quelle energiereicher Dampfstrahlen.

Highlight

 

Hartstoffschichten mit >100 µm Dicke

Diese Schichten eignen sich für den Schutz extrem belasteter Oberflächen von Werkzeugen und Bauteilen. Das Bild zeigt den Querschliff einer 130 µm dicken Hartstoffschicht auf Al-Cr-Si-Ti-N- Basis, die mit dem Arc-Verfahren hergestellt wurde.