Kohlenstoffschichten

Die vom IWS entwickelten Diamor®-Schichten aus tetraedrischem amorphen Kohlenstoff (ta-C) sind extrem verschleißfest und reibungsarm. Sie eignen sich daher hervorragend als Schutzschichten für Werkzeuge, Komponenten und Bauteile unter geschmierten und ungeschmierten Einsatzbedingungen.

Diamor®-Schichten können mit sehr guter Haftung in einem weiten Schichtdickenbereich abgeschieden werden. Die Abscheidung erfolgt bei niedrigen Temperaturen im Vakuum mit speziell entwickelten Puls-Arc-Verfahren. Für die industrielle Einführung der Diamor®-Schichten liefert das IWS zusammen mit Partnerunternehmen neben der Technologie auch die erforderlichen Beschichtungsquellen und -anlagen sowie die laserakustische Prüftechnik LAwave zur Qualitätssicherung und Schichtoptimierung.

Highlight

 

Plasmagefilterte ta-C Schichten

Basierend auf der Laser-ArcTM-Technologie wurde am IWS einen Plasmafilter entwickelt, mit dem die Herstellung glatter ta-C Schichten im industriellen Maßstab ermöglicht wird. Mit der neuen Filtertechnologie werden Droplets und Partikel effektiv aus dem Beschichtungsplasma abgetrennt, so dass die Abscheidung defektarmer und glatter ta-C Schichten gelingt. Die Filter-Technologie wurde speziell für das Laser-Arc-Modul LAM 500 entwickelt und erlaubt Beschichtungsraten von ca. 1 µm pro Stunde für eine voll bestückte Beschichtungskammer einer industriellen PVD-Anlage.