Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS- Anfertigung von TEM-Folien mittels ionenstrahlgestützter Präparationstechnik
- Hochauflösende Abbildung, Nanobeugung und EDX-Analytik zur Charakterisierung der Dünnschichtsysteme hinsichtlich:
- Schichtaufbau, Periodizität und Wachstum
- Bildung und Entwicklung von Defekten
- Kristallstruktur der Einzelschichten - Analyse der Grenzflächenbeschaffenheit
- Ebenheit
- Interdiffusionszonen - Ableitung von Strategien zur Optimierung des Beschichtungsprozesses