Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Hochauflösende Abbildung eines Reaktivmultischichtstapels (RMS)
Elementverteilung (TEM-Linescan) von Ti und Cr in einer Hartstoffschicht
- Anfertigung von TEM-Folien mittels ionenstrahlgestützter Präparationstechnik
- Hochauflösende Abbildung, Nanobeugung und EDX-Analytik zur Charakterisierung der Dünnschichtsysteme hinsichtlich:
- Schichtaufbau, Periodizität und Wachstum
- Bildung und Entwicklung von Defekten
- Kristallstruktur der Einzelschichten - Analyse der Grenzflächenbeschaffenheit
- Ebenheit
- Interdiffusionszonen - Ableitung von Strategien zur Optimierung des Beschichtungsprozesses