Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Geometrie zwischen Ionen- und Elektronenstrahl, EDX- und EBSD-Analysesystemen sowie Probe
Farbkodierte 3D-Darstellung der Kristallorientierungen einer Sn-Cu-Ag-Legierung
- Erweiterung der etablierten Methodik der Anfertigung von Querschnitten sowie deren flächenhafter Abbildung zu einer tomographischen 3D- Abbildung und -Analyse; vor allem für die Untersuchung anisotroper Strukturen in Verbund- und Gradienten-werkstoffen sowie in Schichtsystemen
- Einsatz eines FIB/SEM-Zweistrahlsystems, das mit Detektoren für Sekundär-, Rückstreu- und transmittierte Elektronen, mit Systemen zur Analyse der chemischen Zusammensetzung (EDX) und zur Untersuchung der Kristallorientierung (EBSD) sowie mit einem Mikromanipulator ausgestattet ist
- Spezieller geometrischer Systemaufbau ermöglicht sukzessive Präparations- und Messprozesse ohne Probenbewegung und daher mit hoher Geschwindigkeit sowie Genauigkeit
- 3D-Informationen zum Gefüge inklusive Korngröße, Kornorientierung, Phasen, chemischer Zusammensetzung und Defekte mit Auflösungen bis zu 10 nm