Simulation

Simulation des Kathodenabtrages

Magnetsystem zur Brennflecksteuerung
© Fraunhofer IWS
Magnetsystem zur Brennflecksteuerung

Die Brennfleckbewegung ist entscheidend für den lokalen Abtrag der Kathode. Mit geeigneten Modellen für die Brennfleckbewegung kann somit die räumliche Verteilung des Kathodenabtrags berechnet werden.