Technologien

Verfahren zur physikalischen Dampfphasenabscheidung

Die Verfahren zur physikalischen Dampfphasenabscheidung (PVD = physical vapor deposition) eignen sich zur Herstellung dünner Schichten aus den unterschiedlichsten Materialien. Wir beschäftigen uns mit der Weiterentwicklung der Verfahren zur Erschließung neuer Anwendungsgebiete sowie zur Verbesserung von Prozesssicherheit und Effizienz.