Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWSPlasmafilterung
Elektromagnetischer Partikelfilter für die Vakuumbogenbeschichtung
Vakuumbogenverdampfer emittieren hochionisiertes Plasma und mikroskopisch kleine Partikel (Droplets) des Kathodenmaterials. Für bestimmte Anwendungen stören diese Partikel und müssen aus dem Plasma herausgefiltert werden. Eine Möglichkeit der Filterung bietet der Lamellenfilter.