Plasmafilterung
Vakuumbogenverdampfer emittieren hochionisiertes Plasma und mikroskopisch kleine Partikel (Droplets) des Kathodenmaterials. Für bestimmte Anwendungen stören diese Partikel und müssen aus dem Plasma herausgefiltert werden. Eine Möglichkeit der Filterung bietet der Lamellenfilter.