Gepulster Hochstrombogen (HCA) mit Plasmafilter
Besondere Plasmaeigenschaften, wie z.B. ein großer Anteil mehrfach geladener Ionen oder sehr hohe kinetische Ionenenergien lassen sich mit dem am IWS entwickelten gepulsten Hochstrombogen (high current arc – HCA) erreichen. In Kombination mit einem elektromagnetischen Partikelfilter lassen sich extrem dichte und präzise Schichten herstellen, die z.B. in der Mikrosystemtechnik Anwendung finden.