HCA mit Plasmafilter

Besondere Plasmaeigenschaften, wie z.B. ein großer Anteil mehrfach geladener Ionen oder sehr hohe kinetische Ionenenergien lassen sich mit dem am IWS entwickelten gepulsten Hochstrombogen (high current arc – HCA) erreichen. In Kombination mit einem elektromagnetischen Partikelfilter lassen sich extrem dichte und präzise Schichten herstellen, die z.B. in der Mikrosystemtechnik Anwendung finden.