Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWSProArc - die elektromagnetische Brennflecksteuerung für Vakuumbogenverdampfer
Brennflecksteuerung mit ProArc
Die Bewegung der Kathodenbrennflecken auf der Kathode hat wesentlichen Einfluss auf die Prozesssicherheit und die Effektivität des Arc-Verfahrens. Deren gezielte Steuerung ist mit dem ProArc-System („programmierbarer Arc“) möglich.