Kombinations-Beschichtungsanlage (OLGA)

Hersteller

• Metaplas Ionon, Bergisch-Gladbach / von Ardenne Anlagentechnik, Dresden

Beschichtungsverfahren

• Thermische Verdampfung
• Elektronenstrahlverdampfung
• Vakuumbogenbeschichtung

Technische Daten

• Kammer: zylindrisch, Durchmesser 1,2 m, Tiefe 0,9 m
• Vakuumsystem: Diffusionspumpe mit Stickstoffkühlfalle
• Endvakuum: < 10^-4 Pa (nach 30 min)
• Probenform:
  - Band (1m x 0,2 m)
  - Flachmaterial (0,1m x 0,3 m)
  - Schüttgut
  - Draht (Durchlauf)

Besonderheiten

Kombination von

• Plasmareinigung AEGD, Glimmeinrichtung
• Jet- und thermischer Verdampfer
• Vakuumbogenbeschichtung (Hochstrombogen HCA) 50 kW
• Elektronenstrahl-Bedampfung (EB) 40 kW
• Aktivierte Beschichtung (HCA+EB)
• in-situ Wärmebehandlung
• einstellbarer Gaszusammensetzung

Simulation Banddurchlauf

• Geschwindigkeit bis 1m/s

Technologieentwicklung

• Beschichtung von Sondergeometrien
• Entwicklung von Plasmaquellen

Schichtentwicklung

• PVD-Abscheidung mit angepaßter Aktivierung
• Kombischichten mit verschiedenen Verdampfern
• Diffusionsschichten durch in-situ Wärmebehandlung