PVD-Entwicklung: Kombinations-Beschichtungsanlage Elektronenstrahl und Hochstrombogen (OLGA)

Kombinations-Beschichtungsanlage Elektronenstrahl und Hochstrombogen (OLGA)

Beispiel: Titan-Beschichtung
Hersteller
- Metaplas Ionon, Bergisch-Gladbach / von Ardenne Anlagentechnik, Dresden
Beschichtungsverfahren
- Thermische Verdampfung
- Elektronenstrahlverdampfung
- Vakuumbogenbeschichtung
Technische Daten
- Kammer: zylindrisch, Durchmesser 1,2 m, Tiefe 0,9 m
- Vakuumsystem: Diffusionspumpe mit Stickstoffkühlfalle
- Endvakuum: < 10-4 Pa (nach 30 min)
- Probenform:
- Band (1m x 0,2 m)
- Flachmaterial (0,1m x 0,3 m)
- Schüttgut
- Draht (Durchlauf)
Besonderheiten
Kombination von
- Plasmareinigung AEGD, Glimmeinrichtung
- Jet- und thermischer Verdampfer
- Vakuumbogenbeschichtung (Hochstrombogen HCA) 50 kW
- Elektronenstrahl-Bedampfung (EB) 40 kW
- Aktivierte Beschichtung (HCA+EB)
- in-situ Wärmebehandlung
- einstellbarer Gaszusammensetzung
Simulation Banddurchlauf
- Geschwindigkeit bis 1m/s
Technologieentwicklung
- Beschichtung von Sondergeometrien
- Entwicklung von Plasmaquellen
Schichtentwicklung
- PVD-Abscheidung mit angepaßter Aktivierung
- Kombischichten mit verschiedenen Verdampfern
- Diffusionsschichten durch in-situ Wärmebehandlung