PVD-Beschichtungsanlage MZR 323 zur industriellen Hartstoffbeschichtung
© Fraunhofer IWSPVD-Beschichtungsanlage MZR 323 zur industriellen Hartstoffbeschichtung
Hersteller
- Sulzer Metaplas Ionon GmbH, Bergisch Gladbach
Technische Daten
- nutzbares Kammervolumen: Ø 450 mm x 500 mm
- Pumpsystem: Turbopumpstand
- Endvakuum: 10-4 Pa
- Substrathalter: Planetary mit Dreifachrotation, Hubtisch, Spezialhalterungen
Technologische Möglichkeiten
- Beschichtungsverfahren: Vakuumbogenbeschichtung mit 4 Rundverdampfern in der Wand
- Schichtsysteme: Metalle, nitridische Hartstoffe
- Optionen: Nachrüstung von bis zu zwei Laser-Arc-Modulen zur Diamor- Abscheidung, Anbau von mehreren Sputterquellen für oxidische Schichten
- Nutzung von Plasmafiltern für die Vakuumbogenbeschichtung für ultraglatte Schichten
- Zusatzeinrichtung zur Plasmareinigung (Arc enhanced glow discharge AEGD)
- vollautomatische Prozessführung
- Abscheiderate für Vakuumbogenbeschichtung 1,5 µm / h in Dreifachrotation
Anwendungen
- Verschleißschutz für Werkzeuge und Bauteile
- Metallisierungen
- dekorative Schichten
- Spezialanwendungen (Lötschichten, IR - Absorber)