PVD-Beschichtungsanlage (MZR 323)

Hersteller

• Sulzer Metaplas Ionon GmbH, Bergisch Gladbach

Technische Daten

• nutzbares Kammervolumen: Ø 450 mm x 500 mm
• Pumpsystem: Turbopumpstand
• Endvakuum: 10^-4 Pa
• Substrathalter: Planetary mit Dreifachrotation, Hubtisch, Spezialhalterungen

Technologische Möglichkeiten

• Beschichtungsverfahren: Vakuumbogenbeschichtung mit 4 Rundverdampfern in der Wand
• Schichtsysteme: Metalle, nitridische Hartstoffe
• Optionen: Nachrüstung von bis zu zwei Laser-Arc-Modulen zur Diamor- Abscheidung, Anbau von mehreren Sputterquellen für oxidische Schichten
• Nutzung von Plasmafiltern für die Vakuumbogenbeschichtung für ultraglatte Schichten
• Zusatzeinrichtung zur Plasmareinigung (Arc enhanced glow discharge AEGD)
• vollautomatische Prozessführung
• Abscheiderate für Vakuumbogenbeschichtung 1,5 µm / h in Dreifachrotation

Anwendungen

• Verschleißschutz für Werkzeuge und Bauteile
• Metallisierungen
• dekorative Schichten
• Spezialanwendungen (Lötschichten, IR - Absorber)