Utradünne Schutzschichten
Mit der Technologie des gefilterten Hochstrombogens (HCA) können dichte, ultradünne Schutzschichten z.B. für Oberflächen von Datenspeichern (Festplatten) hergestellt werden. Durch die extreme Verschleißbeständigkeit sowie die Tatsache, dass Diamor® ta-C-Schichten bereits mit wenigen Nanometer Dicke extrem glatte und dichte Schichten bilden, sind diese als ultradünne Schutzschichten für Mikro- und Nanosysteme prädestiniert.
So wurde bereits bei Computer-Festplatten sowie Schreib-/Leseköpfen eine Eignung von ca. 2 nm dicken ta-C-Schutzschichten für die nächste Generation von Festplattensystemen erfolgreich nachgewiesen.
Die hohen Anforderungen an Defektreinheit bedingen den Einsatz hochentwickelter Plasmafilter bei der Abscheidung der ta‑C-Schichten.
Derartige Beschichtungssysteme wurden am IWS sowie der inzwischen ausgegründeten Firma Arc Precision erfolgreich bis zur Industriereife entwickelt.