Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWSUtradünne Schutzschichten
Mit der Technologie des gefilterten Hochstrombogens (HCA) können dichte, ultradünne Schutzschichten z.B. für Oberflächen von Datenspeichern (Festplatten) hergestellt werden. Durch die extreme Verschleißbeständigkeit sowie die Tatsache, dass Diamor® ta-C-Schichten bereits mit wenigen Nanometer Dicke extrem glatte und dichte Schichten bilden, sind diese als ultradünne Schutzschichten für Mikro- und Nanosysteme prädestiniert.
So wurde bereits bei Computer-Festplatten sowie Schreib-/Leseköpfen eine Eignung von ca. 2 nm dicken ta-C-Schutzschichten für die nächste Generation von Festplattensystemen erfolgreich nachgewiesen.
Die hohen Anforderungen an Defektreinheit bedingen den Einsatz hochentwickelter Plasmafilter bei der Abscheidung der ta‑C-Schichten.
Derartige Beschichtungssysteme wurden am IWS sowie der inzwischen ausgegründeten Firma Arc Precision erfolgreich bis zur Industriereife entwickelt.