Gasphasencharakterisierung

Im Bereich der Gasanalytik hat sich die Arbeitsgruppe auf die Multigasanalyse sowie Spurengasdetektion spezialisiert. Zielanwendungen für die Identifikation und quantitativen Analyse von Stoffen und Stoffverbindungen sind die Bewertung von chemischen Prozessen, von Gasatmosphären und dem stoffspezifischen Durchtritts- bzw. Durchbruchsverhalten von Folien.

Multigasanalytik

Funktionsprinzip der langzeitstabilen, partikelkontaminationsfreien in-situ Charakterisierung von Multigasatmosphären in Prozessen
© Fraunhofer IWS Dresden
Funktionsprinzip der langzeitstabilen, partikelkontaminationsfreien in-situ Charakterisierung von Multigasatmosphären in Prozessen

Die zeitaufgelöste in-situ – Erfassung unterschiedlicher Gasspezies mit infrarotspektroskopischen Methoden (FTIR) ist für das Verständnis chemischer Gasphasenprozesse ein universelles, zudem prozessdruck- und -temperaturunabhängig einsetzbares Charakterisierungsverfahren.

Die Bestimmung zeitlicher Konzentrationsverläufe mit unteren Nachweisgrenzen typischerweise im ppm-Bereich ermöglicht die Aufklärung von Gas- und Abgaszusammensetzungen bei CVD-Prozessen wie Beschichten oder Ätzen im Bereich der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie, bei Sinterprozessen aber auch bei der Überwachung von Gasmischungsverhältnissen allgemein.

Spurengasdetektion

Mehrfachreflexionszelle mit Laserdiodenspektrometer zur Spurengasdetektion
© Fraunhofer IWS Dresden
Mehrfachreflexionszelle mit Laserdiodenspektrometer zur Spurengasdetektion

Die hochsensible und hochsensitive Spurengasdetektion auf Basis der Laserdiodenspektroskopie (LDS) liefert spezifische Informationen zur Anwesenheit bestimmter Gase. Vor allem prozesskritische Spezies wie insbesondere Feuchte können als Verunreinigungen in hochreinen Gasen mit Nachweisgrenzen im ppb-Bereich hochgenau detektiert werden.

In Kombination mit applikationsspezifisch entwickelten optischen Systemen erschließt die Laserdiodenspektroskopie weiterhin die Möglichkeit, das Durchtrittsverhalten („Permeation“) v. a. von Folien zu charakterisieren. Diese Messungen liefern für Hochtechnologieanwendungen wie barriereversiegelte organische Leuchtdioden belastbare Werte zur Lebensdauerprognose mit bisher unerreichter Genauigkeit.