Charakterisierung von Dünnschichtsystemen mittels analytischer Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)

Hochauflösende Abbildung eines Reaktivmultischichtstapels (RMS)
© Fraunhofer IWS Dresden

Hochauflösende Abbildung eines Reaktivmultischichtstapels (RMS)

Elementverteilung (TEM-Linescan) von Ti und Cr in einer Hartstoffschicht
© Fraunhofer IWS Dresden

Elementverteilung (TEM-Linescan) von Ti und Cr in einer Hartstoffschicht

  • Anfertigung von TEM-Folien mittels ionenstrahlgestützter Präparationstechnik
  • Hochauflösende Abbildung, Nanobeugung und EDX-Analytik zur Charakterisierung der Dünnschichtsysteme hinsichtlich:
    - Schichtaufbau, Periodizität und Wachstum
    - Bildung und Entwicklung von Defekten
    - Kristallstruktur der Einzelschichten
  • Analyse der Grenzflächenbeschaffenheit
    - Ebenheit
    - Interdiffusionszonen
  • Ableitung von Strategien zur Optimierung des Beschichtungsprozesses