Werkstoffcharakterisierung und Mikrostrukturierung mittels Focused Ion Beam (FIB) und hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie (HR-SEM)

Geometrie zwischen Ionen- und Elektronenstrahl, EDX- und EBSD-Analysesystemen sowie Probe
© Fraunhofer IWS Dresden

Geometrie zwischen Ionen- und Elektronenstrahl, EDX- und EBSD-Analysesystemen sowie Probe

Farbkodierte 3D-Darstellung der Kristallorientierungen einer Sn-Cu-Ag-Legierung
© Fraunhofer IWS Dresden

Farbkodierte 3D-Darstellung der Kristallorientierungen einer Sn-Cu-Ag-Legierung

  • Erweiterung der etablierten Methodik der Anfertigung von Querschnitten sowie deren flächenhafter Abbildung zu einer tomographischen 3D- Abbildung und -Analyse; vor allem für die Untersuchung anisotroper Strukturen in Verbund- und Gradienten-werkstoffen sowie in Schichtsystemen
  • Einsatz eines FIB/SEM-Zweistrahlsystems, das mit Detektoren für Sekundär-, Rückstreu- und transmittierte Elektronen, mit Systemen zur Analyse der chemischen Zusammensetzung (EDX) und zur Untersuchung der Kristallorientierung (EBSD) sowie mit einem Mikromanipulator ausgestattet ist
  • Spezieller geometrischer Systemaufbau ermöglicht sukzessive Präparations- und Messprozesse ohne Probenbewegung und daher mit hoher Geschwindigkeit sowie Genauigkeit
  • 3D-Informationen zum Gefüge inklusive Korngröße, Kornorientierung, Phasen, chemischer Zusammensetzung und Defekte mit Auflösungen bis zu 10 nm