Röntgenreflektometrie

Messanordung mit zwei Parallelstrahloptiken, jeweils eine primär hinter der Quelle und eine sekundär vor der Detektorblende
© Fraunhofer IWS Dresden
Messanordung mit zwei Parallelstrahloptiken, jeweils eine primär hinter der Quelle und eine sekundär vor der Detektorblende
Goniometer des Messgerätes "D8" mit Quelle, Röntgenoptiken, Blenden, Probe und Detektor
© Fraunhofer IWS Dresden
Goniometer des Messgerätes "D8" mit Quelle, Röntgenoptiken, Blenden, Probe und Detektor

Röntgenreflektometrie

Die Röntgenreflektometrie wird routinemäßig zur Analyse von dünnen Schichten mit Dicken im Bereich von d = 2 ... 250 nm eingesetzt. Je nach Anforderung können die Messungen mit Cu-, Mo-, Ag- oder Cr-K-Strahlung erfolgen. Die mit Röntgenreflektometrie zu erhaltenen Kenndaten sind:

  • d: Dicke der Schichten
  • ρ: Dichte von Einzelschichten oder mittlere Dichte von Multischichten
  • σ: Grenzflächenweite (Rauheit, Interdiffusion) von Schichtübergängen

Um auch kleinste Schichtdickenunterschiede im Pikometerbereich bei verschiedenen Nanometer-Multischichten nachweisen zu können, wurden die beiden verfügbaren Röntgengeräte "D5005" und "D8" auf höchste Wiederholgenauigkeiten optimiert. Dies und hohe Intensitäten verbunden mit geringen Messzeiten erlauben präzise Messungen bei der Schichtentwicklung und leistungsstarke Qualitätkontrollen fertiger Optiken.