EUV-Reflektometrie

EUV-Reflektometer bestehend aus Quelle, Monochromator, Goniometer und Detektionseinheit
© Fraunhofer IWS Dresden
EUV-Reflektometer bestehend aus Quelle, Monochromator, Goniometer und Detektionseinheit
Blick in die Goniometerkammer des EUV-Reflektometers
© Fraunhofer IWS Dresden
Blick in die Goniometerkammer des EUV-Reflektometers
Vergleich von Messungen des EUV-Reflexionsgrades am EUV-Reflektometer und bei der PTB Berlin
© Fraunhofer IWS Dresden
Vergleich von Messungen des EUV-Reflexionsgrades am EUV-Reflektometer und bei der PTB Berlin

EUV-Reflektometrie

Zur Entwicklung und Qualitätskontrolle von EUV-Reflexionsschichten und -optiken ist deren Charakterisierung unter den geplanten Einsatzbedingungen (Wellenlänge, Einfallswinkel) nötig.

Um eine schnelle Verfügbarkeit der Ergebnisse zu sichern, wurde vom IWS gemeinsam mit Partnern aus Industrie (Carl Zeiss SMT, Bestec, AIS) und Forschung (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Max-Born-Institut Berlin) ein EUV-Reflektometer gebaut.


Kenndaten

  • Spiegeldurchmesser: bis 500 mm
  • Spiegelgewicht: bis 30 kg
  • Wellenlängebereich: λ = 10 - 16 nm
  • Wiederholgenauigkeit der EUV-Peaklage: 2 pm
  • Wiederholgenauigkeit des EUV-Reflexionsgrads: 0,2 %


Typische Messungen am EUV-Reflektometer

  • Θ-2Θ-Scans bei fester Wellenlänge λ und nahezu senkrechtem Strahlungseinfall
  • λ-Scans bei festem, nahezu senkrechtem Strahlungseinfall
  • Θ-2Θ-Scans bei fester Wellenlänge λ und nahezu streifendem Strahlungseinfall