Technologien

Beschichtungs- und Charakterisierungsverfahren

Zur Präzisionsbeschichtung von EUV- und Röntgenoptiken stehen im IWS Dresden vielfältige Beschichtungsverfahren zur Verfügung. In Abhängigkeit von den abzuscheidenden Materialien und den geforderten Schichteigenschaften kommen folgende Technologien zum Einsatz:

Für eine erfolgreiche Entwicklung von Beschichtungsprozessen ist die Charakterisierung der hergestellten Schichten unabdingbar notwendig. Die relevanten Fragestellungen sind dabei:

  • Schichtdicken und -dichten
  • Schichtmikrostrukturen
  • Oberflächenrauheiten
  • Reflexionsspektren, insbesondere Reflexionsgrade
  • Eigenspannungen
  • Konturen optischer Oberflächen

Präzisionsbeschichtung

 

Ionenstrahl-Sputter-Deposition (IBSD)

 

Magnetron-Sputter-Deposition (MSD)

 

Puls-Laser-Deposition (PLD)

Charakterisierungsverfahren

 

Röntgenreflektometrie

 

EUV-Reflektometrie

 

Röntgendiffraktometrie

 

Rasterkraftmikroskopie

 

Stress-Messplatz