Schichtdickennormale

Problem

Zur Kalibrierung von Messverfahren werden häufig sogenannte "Normale" genutzt. Nanometer-Schichtdickennormale werden bei Dickenmessungen oder zur Kalibrierung von Fluoreszenzmessgeräten eingesetzt. Die Normale müssen dabei äußerst hohe Anforderungen in den folgenden Punkten erfüllen:

• Homogenität
• Langzeitstabilität
• Reinheit

Lösung

Zur Herstellung von Dickennormalen werden im IWS die Präzisionsbeschichtungsverfahren PLD, MSD und IBSD genutzt. Materialien, die gegenüber atmosphärischen Einflüssen instabil sind, werden mit geeigneten Deckschichten, wie z. B. Kohlenstoff geschützt. Darüber hinaus wird bei mehrkomponentigen Dickennormalen durch das Einbringen von Barriereschichten ein scharfer Übergang zwischen den Materialien erreicht.
Die Charakterisierung mittels Röntgenreflektometrie und die Schichtmodellierung erfolgen ebenfalls im IWS.

Materialien

Derzeit stehen folgende Materialien für die Beschichtung von Dickennormalen zur Verfügung: Borkarbid (B4C), Bornitrid (BN), Kohlenstoff (a-C, DLC), Aluminium (Al), Aluminiumoxid (Al2O3), Silizium (Si), Siliziumoxid (SiO2), Scandium (Sc), Titan (Ti), Titanoxid (TiO2), Chrom (Cr), Eisen (Fe), Kobalt (Co), Nickel (Ni), Kupfer (Cu), Zirkonium (Zr), Zirkonoxid (ZrO2), Molybdän (Mo), Ruthenium (Ru), Silber (Ag), Lanthan (La), Wolfram (W), Platin (Pt).