EUV-Reflexionsnormale

EUV-Reflexionsnormale

EUV-Reflexionsnormale verschiedener Größen (Für die meisten Fragestellungen sind Spiegelgrößen von 25 mm Durchmesser und 6 mm Dicke ausreichend.)
© Fraunhofer IWS Dresden
EUV-Reflexionsnormale verschiedener Größen (Für die meisten Fragestellungen sind Spiegelgrößen von 25 mm Durchmesser und 6 mm Dicke ausreichend.)

Anforderungen

Absolutmessungen des Reflexionsgrades und der Peaklage von EUV-Spiegeln sind mit hoher Genauigkeit meist nur an Synchrotrons möglich. Um dennoch auch mit Labormessgeräten möglichst genaue Aussagen hinsichtlich Reflexionsgrad und Peaklage von unbekannten EUV-Reflexionsschichten zu erhalten, werden kalibrierte Vergleichsproben, sogenannte Normale, benötigt, deren Charakteristika exakt bekannt sind. Diese Reflexionsnormale müssen höchste Anforderungen hinsichtlich Langzeitstabilität, Homogenität und Wärmebeständigkeit aufweisen.

Lösung

Um sowohl zeitliche als auch wärmebedingte Veränderungen im Aufbau der Nanometer-Multischichten zu vermeiden, werden deren Grenzflächen durch das Einfügen von speziellen Diffusions- und Reaktionsbarriereschichten stabilisiert. Langzeitmessungen der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt am Synchrotronstrahlungsring BESSY2 über 3 Jahre hinweg ergaben keine nachweisbaren Veränderungen der Reflexionscharakteristika. Folgende Spezifikationen weisen EUV-Reflexionsnormale auf:

  • maximale Abweichung von der mittleren Peaklage: < 0,002 nm
  • maximale Abweichung vom mittleren Reflexionsgrad: < 0,1 %
  • Homogenität der Schichten: > 99,95 %
  • Ausheizbarkeit der Schichten bis T ≤ 150 °C