Röntgen-Diffraktometer

Röntgen-Diffraktometer D8 Advance und D5005

Röntgen-Diffraktometer D8 Advance mit Blick auf Quelle, primäre Röntgenoptik, Goniometer, Probentisch, sekundäre Röntgenoptik und Detektor (von links nach rechts)
© Fraunhofer IWS Dresden
Röntgen-Diffraktometer D8 Advance mit Blick auf Quelle, primäre Röntgenoptik, Goniometer, Probentisch, sekundäre Röntgenoptik und Detektor (von links nach rechts)
Messanordung mit zwei Parallelstrahloptiken, jeweils eine primär hinter der Quelle und eine sekundär vor der Detektorblende
© Fraunhofer IWS Dresden
Messanordung mit zwei Parallelstrahloptiken, jeweils eine primär hinter der Quelle und eine sekundär vor der Detektorblende

Hersteller

  • D8 Advance - Bruker AXS GmbH
  • D5005 - Siemens


Technische Daten

  • Röntgenröhre (Cu, Mo, Co, ...) mit 0,04 x 12 mm2
    Lang-Fein Fokus oder 0,4 x 0,4 mm2 Punktfokus
  • Probenteller: ortsfest, Ø = 150 mm
  • Szintillations-Detektor
  • Strahldivergenz: Δθ < 0,02 °
  • Verwendung von Ni/C - Göbelspiegeln zur:
    - Monochromatisierung und Unterdrückung der
      Fluoreszenzstrahlung
    - Unterdrückung der Cu-Kβ-Strahlung
    - Einfachen Justage und kurzen Messzeiten bei
      Parallelstrahlgeometrie


Einsatz

  • Röntgenreflektometrie an dünnen Schichtsystemen zur Bestimmung der Schichtdicke, Rauheit und Dichte
  • Röntgendiffraktometrie an Pulvern und polykristallinen Schichten zur qualitativen und quantitativen Phasenanalyse
  • Entwicklung von neuen Optiksystemen