Ausstattung

 

Röntgen-Diffraktometer D8 Advance und D5005

 

Anlage zur Puls-Laser-Deposition (PLD) von Nanometer-Multischichten auf Großflächen

 

UHV-Clustertool zur Herstellung von Präzisions-Nanometer-Multischichten mittels MSD und PLD

 

UHV-Ionenstrahlsputteranlage zur Nanometer-Präzisionsbeschichtung und -ätzung