Elektronenstrahlbedampfung

Elektronenstrahlbedampfung

Metallverdampfung mittels Elektronenstrahltechnologie
© Fraunhofer IWS Dresden
Metallverdampfung mittels Elektronenstrahltechnologie

Mit Hilfe eines hochenergetischen Elektronenstrahles lassen sich fast alle Materialien verdampfen. Insbesondere wenn hohe Beschichtungsraten (z.B. für Metallschichten) gefordert sind, ist die Elektronenstrahlbedampfung eine sinnvolle Alternative für andere PVD-Verfahren. In Kombination mit einer effektiven Plasmaanregung lassen Schichtstrukturen gezielt einstellen. Im IWS steht dafür eine Versuchsanlage mit einer 40kW- Elektronenstrahlkanone zur Verfügung.