Plasmareinigung

Plasmareinigung von Stahlband

Modul zur bogengestützten Plasmareinigung
© Fraunhofer IWS Dresden
Modul zur bogengestützten Plasmareinigung

Die Beschichtung von Substraten aller Art mit PVD- oder CVD- Verfahren erfordert in aller Regel eine Vorbehandlung der Oberflächen mit geeigneten Plasmaverfahren. Besondere Anforderungen stellt dabei z.B. die Behandlung von Stahlband im Durchlaufverfahren. Extrem große Flächen müssen hier kontinuierlich gereinigt werden.