Plasmafilterung

Plasmafilterung

Elektromagnetischer Partikelfilter für die Vakuumbogenbeschichtung
© Fraunhofer IWS Dresden
Elektromagnetischer Partikelfilter für die Vakuumbogenbeschichtung

Vakuumbogenverdampfer emittieren hochionisiertes Plasma und mikroskopisch kleine Partikel (Droplets) des Kathodenmaterials. Für bestimmte Anwendungen stören diese Partikel und müssen aus dem Plasma herausgefiltert werden. Eine Möglichkeit der Filterung bietet der Lamellenfilter.