HCA mit Plasmafilter

Gepulster Hochstrombogen (HCA) mit Plasmafilter

Filter-HCA-Modul für die Festplattenbeschichtung
© Fraunhofer IWS Dresden
Filter-HCA-Modul für die Festplattenbeschichtung

Besondere Plasmaeigenschaften, wie z.B. ein großer Anteil mehrfach geladener Ionen oder sehr hohe kinetische Ionenenergien lassen sich mit dem am IWS entwickelten gepulsten Hochstrombogen (high current arc – HCA) erreichen. In Kombination mit einem elektromagnetischen Partikelfilter lassen sich extrem dichte und präzise Schichten herstellen, die z.B. in der Mikrosystemtechnik Anwendung finden.