Brennflecksteuerung

ProArc - die elektromagnetische Brennflecksteuerung für Vakuumbogenverdampfer

Brennflecksteuerung mit ProArc
© Fraunhofer IWS Dresden
Brennflecksteuerung mit ProArc

Die Bewegung der Kathodenbrennflecken auf der Kathode hat wesentlichen Einfluss auf die Prozesssicherheit und die Effektivität des Arc-Verfahrens. Deren gezielte Steuerung ist mit dem ProArc-System („programmierbarer Arc“) möglich.