Kombinations-Beschichtungsanlage (OLGA)

PVD-Entwicklung: Kombinations-Beschichtungsanlage Elektronenstrahl und Hochstrombogen (OLGA)

Kombinations-Beschichtungsanlage Elektronenstrahl und Hochstrombogen (OLGA)
© Fraunhofer IWS Dresden
Kombinations-Beschichtungsanlage Elektronenstrahl und Hochstrombogen (OLGA)
Beispiel: Titan-Beschichtung
© Fraunhofer IWS Dresden
Beispiel: Titan-Beschichtung

Hersteller

  • Metaplas Ionon, Bergisch-Gladbach / von Ardenne Anlagentechnik, Dresden


Beschichtungsverfahren

  • Thermische Verdampfung
  • Elektronenstrahlverdampfung
  • Vakuumbogenbeschichtung


Technische Daten

  • Kammer: zylindrisch, Durchmesser 1,2 m, Tiefe 0,9 m
  • Vakuumsystem: Diffusionspumpe mit Stickstoffkühlfalle
  • Endvakuum: < 10-4 Pa (nach 30 min)
  • Probenform:
    - Band (1m x 0,2 m)
    - Flachmaterial (0,1m x 0,3 m)
    - Schüttgut
    - Draht (Durchlauf)


Besonderheiten

Kombination von

  • Plasmareinigung AEGD, Glimmeinrichtung
  • Jet- und thermischer Verdampfer
  • Vakuumbogenbeschichtung (Hochstrombogen HCA) 50 kW
  • Elektronenstrahl-Bedampfung (EB) 40 kW
  • Aktivierte Beschichtung (HCA+EB)
  • in-situ Wärmebehandlung
  • einstellbarer Gaszusammensetzung


Simulation Banddurchlauf

  • Geschwindigkeit bis 1m/s


Technologieentwicklung

  • Beschichtung von Sondergeometrien
  • Entwicklung von Plasmaquellen


Schichtentwicklung

  • PVD-Abscheidung mit angepaßter Aktivierung
  • Kombischichten mit verschiedenen Verdampfern
  • Diffusionsschichten durch in-situ Wärmebehandlung