PVD-Beschichtungsanlage (MZR 323)

PVD-Beschichtungsanlage MZR 323 zur industriellen Hartstoffbeschichtung

PVD-Beschichtungsanlage MZR 323 zur industriellen Hartstoffbeschichtung
© Fraunhofer IWS Dresden
PVD-Beschichtungsanlage MZR 323 zur industriellen Hartstoffbeschichtung

Hersteller

  • Sulzer Metaplas Ionon GmbH, Bergisch Gladbach


Technische Daten

  • nutzbares Kammervolumen: Ø 450 mm x 500 mm
  • Pumpsystem: Turbopumpstand
  • Endvakuum: 10-4 Pa
  • Substrathalter: Planetary mit Dreifachrotation, Hubtisch, Spezialhalterungen


Technologische Möglichkeiten

  • Beschichtungsverfahren: Vakuumbogenbeschichtung mit 4 Rundverdampfern in der Wand
  • Schichtsysteme: Metalle, nitridische Hartstoffe
  • Optionen: Nachrüstung von bis zu zwei Laser-Arc-Modulen zur Diamor- Abscheidung, Anbau von mehreren Sputterquellen für oxidische Schichten
  • Nutzung von Plasmafiltern für die Vakuumbogenbeschichtung für ultraglatte Schichten
  • Zusatzeinrichtung zur Plasmareinigung (Arc enhanced glow discharge AEGD)
  • vollautomatische Prozessführung
  • Abscheiderate für Vakuumbogenbeschichtung 1,5 µm / h in Dreifachrotation


Anwendungen

  • Verschleißschutz für Werkzeuge und Bauteile
  • Metallisierungen
  • dekorative Schichten
  • Spezialanwendungen (Lötschichten, IR - Absorber)