Vakuumbogenbeschichtung (MR 313)

Vakuumbogenbeschichtung: Industrielle Kleinanlage MR 313

Vakuumbogenbeschichtung: Industrielle Kleinanlage MR 313
© Fraunhofer IWS Dresden
Vakuumbogenbeschichtung: Industrielle Kleinanlage MR 313
TIN-Beschichtung eines Stereolithographie - Modells (TU Dresden)
© Fraunhofer IWS Dresden
TIN-Beschichtung eines Stereolithographie - Modells (TU Dresden)

Hersteller

  • Metaplas Ionon, Bergisch Gladbach


Beschichtungsverfahren

  • Vakuumbogenbeschichtung mit Rund- und Rechteckkathode
  • Sputterbeschichtung


Technische Daten

  • Kammer: kubisch, nutzbares Volumen 0,4 m x 0,4 m x 0,4 m
  • Vakuumsystem: Diffusionspumpe
  • Endvakuum: < 10-4 Pa (nach 60 min)
  • Halterungen: rotierend (einfach und planetarisch), verschiedene Spezialhalter


Technologische Möglichkeiten

  • Gleichstrom - Vakuumbogenverdampfung (I = 150 A)
  • zwei Verdampfer zum alternativen oder gleichzeitigen Betrieb
  • programmierbare Brennflecksteuerung zur Einstellung definierter Erosions- und Abscheideprofile (Pro Arc)
  • Sputterbeschichtung
  • reaktive Abscheidung mit max. vier Prozessgasen möglich
  • Einrichtung zur Plasmareinigung:
    - konventionelle Glimmreinigung
    - bogengestützte Glimmreinigung (AEGD)


Anwendungen

  • Abscheidung nitridischer Hartstoffe wie TiN, CrN, ZrN, TiAlN
  • Metallisierungen (Abscheidung nahezu aller Metalle möglich)
  • Verfahrens- und Schichtentwicklung zur Vakuumbogen-Beschichtung, Sputterbeschichtung
  • Entwicklung neuartiger Plasmaquellen (Pulsbogen)