Großflächige Abscheidung leitfähiger oder isolierender Schichten

Großflächige Abscheidung leitfähiger oder isolierender Schichten bei Atmosphärendruck

Großflächige Abscheidung dünnster Schichten durch Ultraschall-Anregung
© Fraunhofer IWS Dresden

Großflächige Abscheidung dünnster Schichten durch Ultraschall-Anregung

Dünne Schichten werden mittels eines Spray-Pyrolyse-Prozesses auf ebene Substrate aufgebracht. Mit dieser Methode können einfach und preisgünstig homogene Schichten aus z.B. dotiertem Aluminiumoxid oder Zinkoxid mit ausgezeichneten Eigenschaften abgeschieden werden. Auch die Abscheidung von dünnen leitfähigen Schichten aus Kohlenstoffnanostrukturen wie Kohlenstoffnanoröhren (CNT) oder Graphen ist möglich.

In der Laboranlage des IWS können Substrate bis zu einer Größe von 156 mm x 156 mm beschichtet werden. Anwendungen liegen z.B. in der Herstellung von Passivierungsschichten für Solarzellen oder von transparenten leitfähigen Schichten.