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In-situ mit FTIR-Spektroskopie gewonnene Konzentrationsverläufe prozeßbeteiligter Gasspezies
© Fraunhofer IWS Dresden

In-situ mit FTIR-Spektroskopie gewonnene Konzentrationsverläufe prozeßbeteiligter Gasspezies

FTIR-Gasanalysesystem  zur zeitaufgelösten Bestimmung der Zusammensetzung von Gasatmosphären und des Konzentrationsverlaufs der enthaltenen Gasspezies (Precursoren, Intermediate, Umsatzprodukte) auch in hoch partikelbelasteten Atmosphären. Das System wurde für den Einsatz im Bereich von CVD-Beschichtungs- und -Ätzprozessen in der Halbleiterindustrie entwickelt.