Fluiddynamische Simulationen

Fluiddynamische Simulationen

Simulierter Gasfluss in einer Mikrowellen-Plasmaquelle
© Fraunhofer IWS Dresden
Simulierter Gasfluss in einer Mikrowellen-Plasmaquelle
Simulation der Reaktivgaskonzentration an der Substratoberfläche
© Fraunhofer IWS Dresden
Simulation der Reaktivgaskonzentration an der Substratoberfläche
Am IWS entwickelter 4-fach Verteiler zur mehrseitigen Einkopplung der Mikrowellen in die linear skalierbare Mikrowellenplasmaquelle
© Fraunhofer IWS Dresden
Am IWS entwickelter 4-fach Verteiler zur mehrseitigen Einkopplung der Mikrowellen in die linear skalierbare Mikrowellenplasmaquelle

Am Fraunhofer IWS Dresden werden FLUENT-Berechnungen zur Strömungssimulation durchgeführt. Zugeschnitten auf den zu untersuchenden Prozess werden Simulationsmodelle zum einfachen und sicheren rechentechnischen Bestimmen der Strömungsvorgänge entwickelt. Die Ergebnisse werden anschließend anhand von Messwerten validiert.

Am Fraunhofer IWS existieren umfassende Kenntnisse in den Bereichen:

  • Gasströmungen
  • Wechselwirkung von Partikeln innerhalb einer Gasströmung
  • Simulation von Gasströmungen und Schichtabscheidungen (inkl. Modellbildung) innerhalb von Reaktoren
  • Wärmeübertragung
  • Gasströmungen in Volumenplasmaquellen