Gasversorgung

Gasversorgung

Gasversorgung
© Fraunhofer IWS Dresden

Gasversorgung

Gasdosierung
© Fraunhofer IWS Dresden

Gasdosierung

Gas-Kabinett zur Dosierung von:

  • Inertgasen: Ar, He, N2
  • Reaktivgasen:
  • H-haltige Gase: H2, NH3, SiH4, H2S, CH4 , C2H4, C2H2
  • O-haltige Gase: O2, O3, CO2, N2O
  • Halogenhaltige Gase: SiH2Cl2, BCl3,
  • Halogenhaltige Ätzgase: F2, SF6, NF3, CF4, C2F6, C4F8, CHF3, COF2, HCl

Flüssigdosierstationen zum Verdampfen von Flüssigprecursoren (z. B. SiCl4, TiCl4, TEOS, HMDSO, HMDSN, TMS u. a.)

Ozon-Generator zur Erzeugung von Ozon aus Sauerstoff