Dr. Stefan Braun auf der NanoTech am 14.02.2008, Tokyo, Japan

Konferenzbeiträge 2008

Wie in jedem Jahr beteiligen sich die IWS-Mitarbeiter auch in diesem Jahr aktiv an Konferenzen und Workshops. Im Folgenden sind die bisherigen und kommenden Veranstaltungen mit Referenten aus der Gruppe "Röntgen- und EUV-Optik" des IWS Dresden zusammen gestellt.

PSE 2008: 11th International Conference on Plasma Surface Engineering, 15 - 19 September 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany

• Peter Gawlitza et al.: Inner Coating of EUV Collector Shells
• Sebastian Winkler et al.: Fabrication and characterization of multilayered thermal barrier coatings

SPIE Symposium on Optical Engineering + Applications, Advances in X-Ray/EUV Optics and Components III, 10-14 August 2008, San Diego, CA, USA

• 11.08.08: Peter Gawlitza et al.: Ion beam sputtering of multilayer x-ray optics

XV. Workshop "Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen", 04.-06.03.2007, Mühlleithen, Deutschland

• 06.03.07: Georg Dietrich et al.: Ionenstrahlsputtern von Kohlenstoff - Möglichkeiten und Grenzen bei der Herstellung hochpräziser (Multi-) Schichten

NanoTech 2008, International Nanotechnology Exhibition & Conference, 13 - 15 February 2008, Tokyo, Japan

• 14.02.2008: Stefan Braun et al.: Application of nanometer precision caotings for EUV lithography and X-ray analytics

The 9th international conference on the physics of X-ray multilayer structures (PXRMS), 03 - 07 February 2008, Montana, USA

• 06.02.2008: Peter Gawlitza et al.: Ion beam sputter deposition of carbon-based multilayers for x-ray and neutron reflectors