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Röntgenreflektogramm einer Nanometer-Multischicht
Kontakt:
Dr. Stefan Braun
Telefon: +49 (0) 351 / 83391-3432
Fax: +49 (0) 351 / 83391-3314
Fraunhofer IWS Dresden
Winterbergstraße 28
01277 Dresden
www.iws.fraunhofer.de |
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Hintergrundinformationen und Simulationstechniken
Im Gegensatz zu sichtbarem Licht lassen sich Röntgenstrahlen außerhalb
des sogenannten Totalreflexionsbereiches an Metalloberflächen nur mit
außerordentlich hohen Verlusten reflektieren. Röntgen selbst war daher
noch der Meinung, dass sich die von ihm entdeckten X-Strahlen nicht
umlenken lassen.
Schon kurz nach der Entdeckung der Röntgenstrahlen stellten jedoch
Laue und Bragg fest, dass durch die Ausnutzung der Beugung und Überlagerung
der Röntgenstrahlen am periodischen Kistallgitter eine "Reflexion" an den
Netzebenen des Kristallgitters auftritt. Dies wurde lange Zeit als die
einzige Möglichkeit angesehen, Röntgenstrahlen umzulenken oder zu formen.
Da jedoch nicht für jede Anwendung geeignete Kristalle gefunden werden können,
wurden Anstrengungen unternommen, künstliche eindimensional periodische
Strukturen herzustellen. Diese sogenannten Multischichten mit
Einzelschichtdicken in Nanometerbereich lösten eine Renaissance auf dem
Gebiet der Röntgenoptiken aus.
Zur Vorhersage der optischen Eigenschaften von Nanometer-Multischichten und
kompletten optischen Systemen werden unterschiedliche Simulationsstechniken im IWS
eingesetzt. Die Berechnung der Reflexion elektromagnetischer Strahlung erfolgt
auf Basis der Fresnelschen Formeln für Reflexion und Transmission an Grenzflächen.
Die Berechnung der Abbildungseigenschaften vollständiger optischer Systeme wird
über geometrische Strahlverlaufsberechnungen vorgenommen. Dies erlaubt effektive Optimierungen
der gewünschten Strahl- oder Abbildungscharakteristiken im Vorfeld der Optikfertigung.
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