Technologien

Beschichtungs- und Charakterisierungsverfahren

Prozessfoto der Puls-Laser-Deposition (PLD)
© Foto Fraunhofer IWS Dresden

Prozessfoto der Puls-Laser-Deposition (PLD)

Zur Präzisionsbeschichtung von EUV- und Röntgenoptiken stehen im IWS Dresden vielfältige Beschichtungsverfahren zur Verfügung. In Abhängigkeit von den abzuscheidenden Materialien und den geforderten Schichteigenschaften kommen folgende Technologien zum Einsatz:

Für eine erfolgreiche Entwicklung von Beschichtungsprozessen ist die Charakterisierung der hergestellten Schichten unabdingbar notwendig. Die relevanten Fragestellungen sind dabei:

  • Schichtdicken und -dichten
  • Schichtmikrostrukturen
  • Oberflächenrauheiten
  • Reflexionsspektren, insbesondere Reflexionsgrade
  • Eigenspannungen
  • Konturen optischer Oberflächen