Leistungsangebot

Leistungsangebot Kohlenstoffschichten

PVD-Anlage mit Laser-Arc-Modul zur a-C-Beschichtung von Werkzeugen
© Foto Fraunhofer IWS Dresden

PVD-Anlage mit Laser-Arc-Modul zur a-C-Beschichtung von Werkzeugen

  • Muster- und Kleinserienbeschichtung von Werkzeugen, Bauteilen und Komponenten mit Diamor®-Schichten
  • Entwicklung angepasster ta-C-basierter Schichtsysteme für spezielle Anwendungen
  • Beratung zu ta-C-Anwendungen und zur ta-C-Beschichtungstechnik
  • Durchführung von tribologischen Untersuchungen (Reibwert- und Verschleißmessung)
  • Durchführung von Schichtanalysen (insbesondere E-Modul-Messung) mittels LAwave
  • Durchführung topografischer und struktureller Charakterisierungen

Beschichtungsmodul LAM 400 und LAM 500

(für 400 bzw. 500 mm Beschichtungshöhe, auf Basis der Laser-ArcTM-Technologie)

Das LAM wurde speziell für die industrielle Abscheidung von superharten ta-C Kohlenstoffschichten entwickelt, erlaubt aber die Abscheidung aller mittels Arc-Technologie abscheidbaren Schichten. Das Modul kann an handelsüblichen PVD-Beschichtungsanlagen anstelle der konventionellen rechteckigen Arc- oder Sputterquellen angesetzt werden. Für das LAM 500 ist zusätzlich ein Plasmafilter lieferbar. Das IWS kooperiert mit mehreren PVD-Anlagenherstellern, die Komplettanlagen mit integriertem LAM 500 anbieten.

LAwave

Laserakustisches Messsystem LAwave zur Charakterisierung von Schichten und Oberflächen. Typische Anwendungsbeispiele sind:

  • Messung von E-Modul und Schichtdicke ultradünner und dünner Schichten
  • Bestimmung der Porosität und Defektdichte in thermisch gespritzten Schichten
  • Störtiefenbestimmung an Halbleiter-Wafern nach Sägen, Schleifen und Polieren
  • Härtetiefenbestimmung an gehärteten Bauteilen