Ausstattung

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Leihgerät Mobiler LARGE mit 150-mm-LARGE-Plasmaquelle
© Foto Fraunhofer IWS Dresden

Leihgerät Mobiler LARGE mit 150-mm-LARGE-Plasmaquelle

Ein Schwerpunkt der Arbeitsgruppe Plasmatechnik und Nanomaterialien ist die Konzeption, Konstruktion sowie der Aufbau von Reaktoren und Prototyp-Anlagen für chemische Gasphasen-Prozesse. Im Rahmen verschiedener Projekte wurden in den letzten Jahren bereits viele Apparaturen entwickelt und gebaut bzw. angeschafft.

Derzeit stehen für unterschiedlichste Aufgabenstellungen 10 verschiedene, teilweise plasmagestützte Anlagen zur Verfügung. Dazu zählen u. a. AP-PECVD-, LP-PECVD- und LP-PVD-, sowie thermische und solarthermische Anlagen für Ätz- bzw. Syntheseanwendungen. Die einzelnen Versuchsanlagen sind modular aufgebaut und können kundenspezifisch modifiziert werden. Für die Untersuchung von Laser-CVD-Prozessen kann ein CO2-Laser (532 nm) an mehreren Anlagen adaptiert werden.

Über eine zentrale Gasversorgung wird eine breite Palette unterschiedlicher Inert- und Reaktivgase bereitgestellt. Mehrere Flüssigverdampferstationen ermöglichen zudem die Nutzung unterschiedlicher Flüssigprecursoren, wie beispielsweise TEOS, HMDSO oder TiCl4. Zur Plasma-Erzeugung sind insgesamt 10 Plasmaquellen nutzbar, die auf unterschiedlichen Funktionsprinzipien basieren.