Atmosphärendruck-Plasma-CVD-Prozesse (AP-PECVD) ermöglichen die großflächige Beschichtungen von Bauteilen und Halbzeugen mit Funktionsschichten im Durchlaufverfahren ohne den kostenintensiven Einsatz von Vakuumanlagen. Damit sind kontinuierliche Beschichtungsprozesse mit hohen Raten auf temperaturempfindlichen Materialien (wie Sonderstählen, Leichtmetallen, Gläsern und Kunststoffen sowie leicht gekrümmten Substraten unterschiedlicher Dicke) realisierbar.