Chemische Oberflächen- und Reaktionstechnik

Neue Technologien verbessern Funktionalität von Oberflächen

 

Plasmatechnik und Nanomaterialien

Im Mittelpunkt steht die Entwicklung von Anlagentechnik für die thermische und plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung sowie für das Trockenätzen bei Atmosphärendruck. Dabei kommen u. a. selbstentwickelte Plasmaquellen zum Einsatz. Neben dem Anlagenbau, stellt die Prozessentwicklung auf den Gebieten der Schicht-abscheidung, Oberflächenbehandlung, Kohlenstofffaser-herstellung sowie die Synthese und Veredlung von Nanomaterialien einen weiteren Schwerpunkt dar.
 

Prozess-Monitoring

Arbeitsschwerpunkt ist die Entwicklung optisch-spektroskopischer Messtechnik zur Charakterisierung und Überwachung industriell relevanter Gasphasenprozesse mittels ppb-Spurengas-, Multigas- und Aerosolanalytik. Im Mittelpunkt stehen dabei die Prozessaufklärung sowie die Entwicklung von Analysatoren und deren Prozessimplementierung. Ergänzt wird das Angebot mit Charakterisierungsmethoden für poröse Stoffe sowie Methoden der Schicht- und Oberflächencharakterisierung.
 

Chemische Oberflächen- und Batterietechnik

Chemische Beschichtungsverfahren basierend auf Gasphasen- (CVD) und Flüssigphasen-Prozessen werden entwickelt, mit denen sich großflächig Beschichtungen auf Basis neuer Materialien auftragen lassen. Schwerpunkte sind unter anderem transparente, funktionale Dünnschichten und poröse Kohlenstoffschichten für elektrische Energiespeicher.