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Produkte und Projekte
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik
Die Laserinterferenzlithographie erlaubt es, große planare und nicht planare Flächen mit periodischen Mikro- und Nanostrukturen zu versehen. Um das Interferenzmuster zu erzeugen werden N kollimierte und kohärente Laserstrahlen auf der Oberfläche eines Fotolacks zur Interferenz gebracht.
Am Fraunhofer IWS werden kompakte DLIP-Systeme für die Oberflachenbehandlung von Metallen, Keramiken und Polymeren entwickelt. Die Systeme können an die jeweiligen Kundenwunsche angepasst werden, so dass es möglich ist, Arrays mit Strukturbreiten im Mikro- und Submikrometerbereich auf großen Flachen präzise und schnell herzustellen.
Verminderung des Reibungskoffizienten durch Strukturierung von Schichten aus tetrahedrischem amorphen Kohlenstoff um 83 % (verglichen mit Stahl/Stahl) bzw. 20 % (verglichen mit ta-C/ta-C).
Elektrische, chemische und mechanische Eigenschaften der Oberflächen von Metallen können periodisch variiert werden. In Abhängigkeit vom verwendeten Material und der Topographie der Strukturen werden mit dem Verfahren des IWS neue Anwendungen, z.B. in der Automobilindustrie oder der Medizintechnik realisier- und bezahlbar.
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