EXCIMER 248

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik

EXCIMER 248

Hersteller

  • Lambda Physik / EXITECH

Technische Daten

  • Excimerlaser: Lambda Physik LPX -220i
  • Medium: Krypton-Fluorid
  • Wellenlänge: 248 nm (UV-C)
  • Pulsfrequenz 200 Hz
  • Pulsdauer: 25 ns
  • Nennleistung: 80 W

Anwendungen

  • µ-Strukturierung
  • µ-Bohren
  • Oberflächenaktivierung
  • Reinigen